电子行业无尘车间

电子行业洁净室的特点

洁净度等级要求高，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控，照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，另外该类洁净室对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚，因为过于干燥的厂房内极易产生静电，造成CMOS集成损坏。

一般来说，电子厂房的温度应控制在22℃左右，相对湿度控制在50-60%之间（特殊洁净车间有相关温湿度规定）。这时可有效地消除静电，并使人也感觉舒适。

芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制造行业洁净室的重要组成部分。

由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格，主要以控制微粒和浮尘为主要对象，同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。

◆电子制造厂万级洁净室内的噪声级（空态）：不应大于65dB(A)。

◆电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%，水平单向流洁净室不应小于40%，否则就是局部单向流了。

◆电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。

◆电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值：

一、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和；二、保证供给洁净室

内每人每小时的新鲜空气量不小于40m³。

◆电子制造行业洁净室净化空调系统加热器，应设置新风，超温断电保护，若采用点加湿时应设置无水保护，寒冷地区，新风系统应设置防冻保护措施。

无尘室的送风量，应取下面三项最大值：

1.保证电子制造厂无尘室空气洁净度等级的送风量；

2.根据热，湿负荷计算确定电子厂洁净室的送风量；

3.向电子制造厂洁净室供给的新鲜空气量。

洁净度影响因素

洁净室作为一个庞大的净化系统，面积大的同时，还需要划分复杂的功能分区以及相应的缓冲配套间等，共同构成了复杂的送、回风系统。

因此，会导致洁净室的洁净度不合格的因素很多。主要包括：

（1）设计级别与空调布置

洁净室的设计级别与空调布置情况直接关系着洁净室的洁净度等级水平。

（2）施工水平

厂房整体施工质量，空调系统、供气系统、排污系统等保障设备的安装质量与洁净室的洁净度息息相关。

（3）气流组织

若气流组织不合理，则送风气流无法充分笼罩工作区。送、回风口的位置不合理，将会产生较高、较大的涡流，则单向流洁净室的气流偏斜角过大。回风格栅开孔面积布置不合理，则回风速度偏高，回风不畅。

（4）过滤器

过滤器质量问题或安装问题导致送入洁净室的空气未经过有效的过滤，空气中悬浮的部分尘埃粒子没有被滤除，导致洁净室内洁净度不合格。

（5）换气次数

换气次数不足会导致洁净室内被污染的空气无法快速排出洁净室，过低的换气次数也无法抑制发尘源的污染作用。

（6）静压差

静压差不合格会使洁净室无法阻挡其外部的污染物进入洁净室内。

（7）风淋室

风淋室作为进入洁净室所必需的通道，用来减少进出洁净室所带来的污染问题。因此，它的质量与洁净室的洁净度密切相关。

（8）设备摆放

室内设备摆放位置不合理会影响洁净室内的气流流向不能达到由上至下、由中心至四周的正常流向，造成气流紊乱，令污染物不能有效排出洁净室。

（9）新设备搬入

新设备的搬入过程需将洁净室内环境与外界大气连通。因此，需严格控制设备的搬入时间与搬运安装流程。同时，设备的外包装需经过严格的擦拭清洁后方可搬入。

（10）化学物质

原材料中的化学物质以及生产过程中的衍生物均会产生挥发物，对洁净室的洁净度产生影响。

（11）保洁水平

洁净室清洁不干净将导致室内积聚污染物，造成卫生死角。

（12）人员与物资运转

洁净室运行过程中，人员和物资的运转很容易在污染敏感的活动周围产生空气紊流，是洁净度的主要污染源。

物资流转量过大，作业人员数量超标，人员洁净服穿着不当等问题，均会造成发尘量超标。